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产品一览

1、MEMS设计与加工

 

1)微细加工委托服务:包含清洗、光刻、磁控溅射、蒸发、键合、PECVD、LPCVD、离子注入、ALD、刻蚀、深刻蚀、湿法腐蚀、电镀、TSV深孔电镀等在内的全流程系列工艺。

 

2)特色加工:有机材料上进行微纳米金属结构的加工、ALD生长TiO2,ZnO薄膜、生长低应力SiNx薄膜、各种基底材料金属镀膜、玻璃晶圆表面微结构加工及微结构加工。

 

2、硅片:现硅片有大量库存,包括高等级硅片氧化硅片/氮化硅片SOI片

 

3、石英片生产石英片台湾高等级石英片代理德国Heraeus石英片

 

4、单晶石英片:日本进口单晶石英片,尺寸2英寸、3英寸、4英寸,厚度200um-1mm。

 

5、玻璃片:康宁大猩猩小尺寸玻璃基片、硼硅玻璃(BF33或Pyrex7740)、无碱玻璃

 

6、HORIBA流量计:日本进口HORIBA流量计北方总代理。

 

7、实验型电镀仪:代理日本山本镀金的电镀仪及相关配套工艺电镀液(Ni、Au、Cu)

 

8、金属靶材:各种高纯度金属及稀土系列靶材。

 

9、其它陶瓷基底VAT阀门Pfeiffer 德国普发真空计硒化锌蓝宝石片碳化硅光刻胶

 


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