产品与应用
气体流量控制器

源帆科技公司是日本HORIBA质量流量控制器北方区的总代理,与HORIBA合作三年时间里,把原装进口的流量计广泛推广应用于工业、半导体,一些高温流量计已经应用到核领域,深受广大用户好评。基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验,我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。 主要产品类型有:

1、数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列,气体被广泛地运用于各种工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,这一获得巨大关注的再生能源项目得到了全球各地的支持;到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中,对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率,进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为一流的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

2、压力不敏感型高性能质量流量控制器 D500,高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块。

3、热感传感器,压力钝感质量流量计 SEC-Z700系列,可以不受上流和下流压力的影响,提供高稳定性的流量控制。不仅可以提供流量输出,还可以读取温度和压力数据。可以通过模拟信号控制,也可以通过RS-485和DeviceNet的数字通信控制。这种型号适合用于高性能,紧凑型和减少管路重量的气路系统。

4、多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X,提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要,轻松地更改流量计气体种类和量程。 藉由产品材料的技术革新, Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求,为客户提升产品价值。

5、高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D系列,可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制,能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

6、质量流量控制器 SEC-E系列,所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。

7、质量流量控制器 SEC-E400J系列,作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统,也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器,则可完全符合制程要求。

8、质量流量控制器 SEC-400系列,它是搭载有温控阀的基本型号。利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。 高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。

9、适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列,可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列,适用于超洁净的气体供给,以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合,在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。

10、低成本质量流量控制器 SEC-E40MK3/E50MK3,MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下彻底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。最适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

11、低成本质量流量控制器 SEC-400MK3/500MK3,MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下彻底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。最适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

12、液体微小质量流量计/控制器 LF-F/LV-F 系列,搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器,通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。可以进行微升以上的微小流量控制。可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。超洁净类型。

 


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