产品与应用
数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器SEC-N100系列

基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验,我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。 

气体被广泛地运用于各种工业领域,从太阳能电池、燃料电池的研究和制造,这一获得巨大关注的再生能源项目得到了全球各地的支持;到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管(LED)的研究和制造。在这些制造工艺中,对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率,进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为一流的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

特征

HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。

型号

选择信号传输模式

选择电源

SEC-N102 系列

SEC-N102W 系列

数字式信号传输

▶RS485 F-NET协议

模拟式信号传输

▶0~5VDC

±15VDC (±5%)

HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品。

SEC-N104 系列

SEC-N104W 系列

DeviceNet 信号传输

遵照ODVA标准

SEC-N105 系列

CC-Link 信号传输

模拟式信号传输

▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA

遵照CC-Link 标准
24VDC(13 to 32VDC)

SEC-N106 系列

PROFIBUS 信号传输

模拟式信号传输

▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA

遵照PROFIBUS标准
24VDC(13 to 32VDC)

 此型号适合各种小流量到大流量的需要。

           N1003 

高精度

■高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高,各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

        N1001

整个流量控制范围内都可实现高响应速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可变PID运算法则:1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了最新开发的“可变PID系统”,对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时,可变PID将根据当下的设定点不断变化,其PID参数也将随之被优化。

                       N1004

多气体、多量程的解决方案

■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 最新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

          N1002

 


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