产品与应用
多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。 

HORIBA STEC,作为全球范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商,长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在,手携全新的技术,HORIBA STEC正在向全球推广新型的质量流量控制器:Z500系列。 

相对于旧有的型号,Z500X系列实现了全新的突破,而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时,实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要,轻松地更改流量计气体种类和量程*2。 

此外,藉由产品材料的技术革新,Z500系列全面满足了RoHS绿色产品的设计要求,为客户提升产品价值。 

高性能的Z500系列流量计,将带给您更多惊喜。全世界正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。 

*1 参考VLSI's 2007研究报告。
  *2 复合气体、复合流量功能。 

特征

· 高精度:设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的,此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度.为了改善各种实际气体种类的控制精度,HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统,并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。

· 高速响应
SEC-Z500X 使用了最新开发的“可更改PID”系统,保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。

· 复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实.我们的Z500设置软件简单、易用.更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。

 

产品相关图及其它

Z5003

Z5001

Z5002

 

 


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