产品与应用

MEMS设计与加工

北京源帆科技荣鼎国际是一家专业从事半导体、MEMS、光学、生物等领域,相关芯片、耗材产业的开发、制造、销售和服务于一体的企业。公司成立于2013年,由一批致力于MEMS微细加工与测试的专业人才创办,傍依于北京完善的产、学、研、用布局,技术力量雄厚。

公司提供各类单项、成套微细加工服务,包括掩膜板的设计与加工,加工精度达到600nm,与国内外多家著名院校、研究机构和知名集成电路制造商、封装企业为长期战略合作伙伴,可以进行多条生产线并行研发,设备齐全,服务及时,适合各类加工需求。

拥有30年技术积累的全工艺流程技术基础,所有技术开发人员均拥有5年以上的本领域研发或生产经验。现已针对集成电路关键技术、太阳能电池、高亮度LED、THZ器件、微孔光栅、MEMS推进器、惯性器件等,推出系列设计、加工与测试服务,形成了自己的特色工艺加工,目前可承接各类微细加工,提供单项加工或综合类器件开发服务。

        

PMMA基底器件

石英片三台阶刻蚀

        

100um深陶瓷光栅

        

PMMA上金属网格制作

PZT与玻璃金锡键合

        

玻璃上表面湿法制作Cr金属

        

湿法制作的Cr/Al/Au压力器件

SU8胶制作百微米微流模型

        

PDMS打孔倒模

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